高精密检测仪器和自动化系统
三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪
EXPEC 7350 三重四极杆ICP-MS颠覆传统， 采用创新性的垂直炬管设
计， 真正的国产三重四极和CP-MS, 将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。
EXPEC 7350 拥有垂直炬管带来的基体承载优势， 三重四极杆赋予的强
大干扰消除能力及灵活分析能力， 即使面对极为棘手的复杂样品， 均可获得
超乎想象的稳定测量结果。
系统特点
• 颠覆性的垂直炬管设计
降低氮气消耗， 提升炬管、离子接口使用寿命。
• 90°离轴的离子传输系统
彻底消除中性粒子干扰， 提升信噪比。
• 真正的三重四极杆设计
Q1、Q2均实现单位质量分辨。
• 五路碰撞反应气
分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换。
应用领域
• 半导体硅片表面、体内的金属超痕量、痕量分析
• 电子级特气中金属杂质超痕量、痕量分析
• 电子级化学品金属杂质的超痕量、痕量分析
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统是谱育科技针对无尘室
气体中阴阳离子含量在线检测研发的一款全自动采集、检测空气中
酸碱性物质的在线系统， 该产品基于在线离子色谱法， 可以实现对
无尘室内环境颗粒物和气体中多种水溶性离子的自动准确测量， 为
制程颗粒物分析提供技术手段， 提高产品良率。
系统组成
• 系统配置模块
系统标配两个点位配置模块， 可完成32个点位的交替吸收富集， 实现高效检测。
• 气体吸收模块
吸收装置包含一级吸收瓶、二级吸收瓶以及缓冲瓶， 吸收速度OL/min-4L/min可调。
• 离子质控模块
该模块实现标准溶液梯度的自动配制、质控样品的引入及在线稀释功能。
分析检测模块
在线离子色谱实现阴阳离子的定性、定量分析。
FAAS 8000MS电子级湿化学品杂质含量在线监测系统
系统特点
• 对厂务化学品， 洗净机药液槽内的SC1, SC2、SPM、BOE等进行实时监控。
实现ppt级别准确定量分析。
• 实现多管路在线分析。
• 在线测试系统定期自动进行QC质控， 保证设备数据的稳定性和准确性。
可自行设置测试方案， 如检测间隔周期， 根据客户洗净机药液周期变化进行调整。
应用领域
半导体FAB产线中洗净机清洗系统金属杂质含量的实时监控
• 厂务化学品金属杂质含量定期监测
电子级化学品加工使用过程中在不同节点时金属含量的实时监控
系统特点
• 监测效率商
支持32个点位的样品采集， 每天可完成28点位阴离子、阳离子的在线监测。
• 自动化程度高
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流
程自动化。
系统本底低
系统管路及阀均采用超洁净的聚四氯乙烯材料设计， 满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要
求。
监测范围广
系统通过真空泵远距离采样， 可覆盖300m范围
内样品的在线监测。
SA280在线加标仪
SA280 在线加标仪是一款应用千实验室分析的仪器， 系统实现全自动加标的功
能， 解决了电子级化学品分析过程容易产生污染的问题。
仪器包含在线内标加入与标准加入法两种运行模式， 支持与ICP-MS等分析仪器联
用分析。
SUPEC 5500在线滴定分析系统
针对半导体客户在实际仪器应用中面临精度要求高、在线分析、庞大的数据管
理、安全要求高等需求， 谱育科技推出了SUPEC 5500 在线滴定分析系统， 包括单因
子光度滴定、单因子电位滴定、双因子滴定三种规格， 具备自动取样、自动过滤、自
动稀释、自动滴定分析、自动清洗排废等功能， 能够进行pH 、ORP、颜色、络合滴
定。可7*24小时连续获取各工业制造过程中关键参数信息。可用于湿电子化学品的含
量分析、刻蚀液的分析以及显影液成分分析等。
洁净室AMC微污染气体监测系统
半导体制程技术的全面发展，芯片线宽全面进入到纳米级别，洁净室分子级污染物或气载分子污染物( AMC)控制要求越来越
严格。综合利用自主研发的光谱、色谱、质谱和电化学技术， 为洁净室AMC微污染气体检测提供完整技术手段，实时检测洁净室
微污染气体浓度变化，对AMC中的酸性、碱性、可凝性和掺杂性物质进行及时的检测，全面掌控洁净室AMC的实际情况。
• 监测设备：NH,、TS/SO/H2S、HCI/Cl2、HF、Total Acids 、o,、voes……
• 监测方式：多点式切换采样系统，单点式或移动式
物种：MA (酸） MB (碱） MC (可凝性） ME
MA (酸）
仪表： 检测因子
A735(紫外荧光法) H2S SO2
A745 (化学发光法）N02, NO
IMS 200S (离子迁移谱） HCI, Cl2
L TGA-200S (ICOS激光光谱） HF
MB (碱）
A745 (化学发光法） NH3
715S (有机胺分析仪）:
胺类
NMP (N-甲基咄咯院酮，C,比NO)
TMAH (四甲基氢氧化按，C4H,,NO)
HMDS (六甲基二硅胺，(CH3)3SiNHSi(CH3)3）
MC (可凝性）
EXPEC 2000-MS-S ( 质谱仪）100种voes, 芳炟类、院炟、烯炟、卤代泾、醒、酮、脂、酚、硫化物
EXPEC 2000-21 OF (色谱仪） 芳泾、酵、酮、脂类
GMS-1000 (FTIR气体分析仪） PFC, HFC, CFC, 院经类等100多种
SPM (化学纸带法） 多种有机和无机气体
EXPEC 2800 (传感器法） 多种有机和无机气体
ME
A760(臭氧分析仪） 03
710(硫化物分析仪）有机硫
MA检测
·H2S/SO2气体分析仪
A735型比S/SO2气体分析仪使用经过验证的紫外荧光法原理，测量通常洁净室中的硫化氢和二氧化硫气体的浓度。
产品特点
·量程： (0-50) ppb至(0-10)ppm H2S、(0-20) ppm SO2 用户自选
·监测灵敏度：可达0.4 ppb
·大屏幕触控操作的彩色图像显示屏，操作方便，显示形象
·可应用于多点采样系统或移动式装置
HCI/Cl2气体分析仪
IMS-200S 氯化氢／氯气分析仪是基于离子迁移谱原理( IMS)技术测呈大气中
ppb级别痕量气体氯化氢／氯气分析仪（氯化氢与氯气总浓度，不能分开测量），可应用
千适合应用千半导体洁净室AMC或连续排放检测等在线实时连续气体检测用途。
产品特点
·检测因子： NH,, Amines, TA, Chlorides (HCl+CI,)
·单点式量测（适用机台内部或需求较高之区域）
·搭配多点式采样系统（适用洁净室内环境）
·最低侦测极限可达100 ppt或更低
• 昌测准确，反应速度快，不受其它物种干扰
• 外型轻盈，便于安装
• 快速晌应，晌应时间可达秒级
． 日常维护保养要求极低
HF气体分析仪
-------------------
联系我们 ：021-37824198*8006 17740803693（微信同号）19916766593（微信同号）
三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪
EXPEC 7350 三重四极杆ICP-MS颠覆传统， 采用创新性的垂直炬管设
计， 真正的国产三重四极和CP-MS, 将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。
EXPEC 7350 拥有垂直炬管带来的基体承载优势， 三重四极杆赋予的强
大干扰消除能力及灵活分析能力， 即使面对极为棘手的复杂样品， 均可获得
超乎想象的稳定测量结果。
系统特点
• 颠覆性的垂直炬管设计
降低氮气消耗， 提升炬管、离子接口使用寿命。
• 90°离轴的离子传输系统
彻底消除中性粒子干扰， 提升信噪比。
• 真正的三重四极杆设计
Q1、Q2均实现单位质量分辨。
• 五路碰撞反应气
分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换。
应用领域
• 半导体硅片表面、体内的金属超痕量、痕量分析
• 电子级特气中金属杂质超痕量、痕量分析
• 电子级化学品金属杂质的超痕量、痕量分析
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统是谱育科技针对无尘室
气体中阴阳离子含量在线检测研发的一款全自动采集、检测空气中
酸碱性物质的在线系统， 该产品基于在线离子色谱法， 可以实现对
无尘室内环境颗粒物和气体中多种水溶性离子的自动准确测量， 为
制程颗粒物分析提供技术手段， 提高产品良率。
系统组成
• 系统配置模块
系统标配两个点位配置模块， 可完成32个点位的交替吸收富集， 实现高效检测。
• 气体吸收模块
吸收装置包含一级吸收瓶、二级吸收瓶以及缓冲瓶， 吸收速度OL/min-4L/min可调。
• 离子质控模块
该模块实现标准溶液梯度的自动配制、质控样品的引入及在线稀释功能。
分析检测模块
在线离子色谱实现阴阳离子的定性、定量分析。
FAAS 8000MS电子级湿化学品杂质含量在线监测系统
系统特点
• 对厂务化学品， 洗净机药液槽内的SC1, SC2、SPM、BOE等进行实时监控。
实现ppt级别准确定量分析。
• 实现多管路在线分析。
• 在线测试系统定期自动进行QC质控， 保证设备数据的稳定性和准确性。
可自行设置测试方案， 如检测间隔周期， 根据客户洗净机药液周期变化进行调整。
应用领域
半导体FAB产线中洗净机清洗系统金属杂质含量的实时监控
• 厂务化学品金属杂质含量定期监测
电子级化学品加工使用过程中在不同节点时金属含量的实时监控
系统特点
• 监测效率商
支持32个点位的样品采集， 每天可完成28点位阴离子、阳离子的在线监测。
• 自动化程度高
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流
程自动化。
系统本底低
系统管路及阀均采用超洁净的聚四氯乙烯材料设计， 满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要
求。
监测范围广
系统通过真空泵远距离采样， 可覆盖300m范围
内样品的在线监测。
SA280在线加标仪
SA280 在线加标仪是一款应用千实验室分析的仪器， 系统实现全自动加标的功
能， 解决了电子级化学品分析过程容易产生污染的问题。
仪器包含在线内标加入与标准加入法两种运行模式， 支持与ICP-MS等分析仪器联
用分析。
SUPEC 5500在线滴定分析系统
针对半导体客户在实际仪器应用中面临精度要求高、在线分析、庞大的数据管
理、安全要求高等需求， 谱育科技推出了SUPEC 5500 在线滴定分析系统， 包括单因
子光度滴定、单因子电位滴定、双因子滴定三种规格， 具备自动取样、自动过滤、自
动稀释、自动滴定分析、自动清洗排废等功能， 能够进行pH 、ORP、颜色、络合滴
定。可7*24小时连续获取各工业制造过程中关键参数信息。可用于湿电子化学品的含
量分析、刻蚀液的分析以及显影液成分分析等。
洁净室AMC微污染气体监测系统
半导体制程技术的全面发展，芯片线宽全面进入到纳米级别，洁净室分子级污染物或气载分子污染物( AMC)控制要求越来越
严格。综合利用自主研发的光谱、色谱、质谱和电化学技术， 为洁净室AMC微污染气体检测提供完整技术手段，实时检测洁净室
微污染气体浓度变化，对AMC中的酸性、碱性、可凝性和掺杂性物质进行及时的检测，全面掌控洁净室AMC的实际情况。
• 监测设备：NH,、TS/SO/H2S、HCI/Cl2、HF、Total Acids 、o,、voes……
• 监测方式：多点式切换采样系统，单点式或移动式
物种：MA (酸） MB (碱） MC (可凝性） ME
MA (酸）
仪表： 检测因子
A735(紫外荧光法) H2S SO2
A745 (化学发光法）N02, NO
IMS 200S (离子迁移谱） HCI, Cl2
L TGA-200S (ICOS激光光谱） HF
MB (碱）
A745 (化学发光法） NH3
715S (有机胺分析仪）:
胺类
NMP (N-甲基咄咯院酮，C,比NO)
TMAH (四甲基氢氧化按，C4H,,NO)
HMDS (六甲基二硅胺，(CH3)3SiNHSi(CH3)3）
MC (可凝性）
EXPEC 2000-MS-S ( 质谱仪）100种voes, 芳炟类、院炟、烯炟、卤代泾、醒、酮、脂、酚、硫化物
EXPEC 2000-21 OF (色谱仪） 芳泾、酵、酮、脂类
GMS-1000 (FTIR气体分析仪） PFC, HFC, CFC, 院经类等100多种
SPM (化学纸带法） 多种有机和无机气体
EXPEC 2800 (传感器法） 多种有机和无机气体
ME
A760(臭氧分析仪） 03
710(硫化物分析仪）有机硫
MA检测
·H2S/SO2气体分析仪
A735型比S/SO2气体分析仪使用经过验证的紫外荧光法原理，测量通常洁净室中的硫化氢和二氧化硫气体的浓度。
产品特点
·量程： (0-50) ppb至(0-10)ppm H2S、(0-20) ppm SO2 用户自选
·监测灵敏度：可达0.4 ppb
·大屏幕触控操作的彩色图像显示屏，操作方便，显示形象
·可应用于多点采样系统或移动式装置
HCI/Cl2气体分析仪
IMS-200S 氯化氢／氯气分析仪是基于离子迁移谱原理( IMS)技术测呈大气中
ppb级别痕量气体氯化氢／氯气分析仪（氯化氢与氯气总浓度，不能分开测量），可应用
千适合应用千半导体洁净室AMC或连续排放检测等在线实时连续气体检测用途。
产品特点
·检测因子： NH,, Amines, TA, Chlorides (HCl+CI,)
·单点式量测（适用机台内部或需求较高之区域）
·搭配多点式采样系统（适用洁净室内环境）
·最低侦测极限可达100 ppt或更低
• 昌测准确，反应速度快，不受其它物种干扰
• 外型轻盈，便于安装
• 快速晌应，晌应时间可达秒级
． 日常维护保养要求极低
HF气体分析仪
-------------------
联系我们 ：021-37824198*8006 17740803693（微信同号）19916766593（微信同号）
高精密检测仪器和自动化系统
三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪
EXPEC 7350 三重四极杆ICP-MS颠覆传统， 采用创新性的垂直炬管设
计， 真正的国产三重四极和CP-MS, 将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。
EXPEC 7350 拥有垂直炬管带来的基体承载优势， 三重四极杆赋予的强
大干扰消除能力及灵活分析能力， 即使面对极为棘手的复杂样品， 均可获得
超乎想象的稳定测量结果。
系统特点
• 颠覆性的垂直炬管设计
降低氮气消耗， 提升炬管、离子接口使用寿命。
• 90°离轴的离子传输系统
彻底消除中性粒子干扰， 提升信噪比。
• 真正的三重四极杆设计
Q1、Q2均实现单位质量分辨。
• 五路碰撞反应气
分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换。
应用领域
• 半导体硅片表面、体内的金属超痕量、痕量分析
• 电子级特气中金属杂质超痕量、痕量分析
• 电子级化学品金属杂质的超痕量、痕量分析
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统是谱育科技针对无尘室
气体中阴阳离子含量在线检测研发的一款全自动采集、检测空气中
酸碱性物质的在线系统， 该产品基于在线离子色谱法， 可以实现对
无尘室内环境颗粒物和气体中多种水溶性离子的自动准确测量， 为
制程颗粒物分析提供技术手段， 提高产品良率。
系统组成
• 系统配置模块
系统标配两个点位配置模块， 可完成32个点位的交替吸收富集， 实现高效检测。
• 气体吸收模块
吸收装置包含一级吸收瓶、二级吸收瓶以及缓冲瓶， 吸收速度OL/min-4L/min可调。
• 离子质控模块
该模块实现标准溶液梯度的自动配制、质控样品的引入及在线稀释功能。
分析检测模块
在线离子色谱实现阴阳离子的定性、定量分析。
FAAS 8000MS电子级湿化学品杂质含量在线监测系统
系统特点
• 对厂务化学品， 洗净机药液槽内的SC1, SC2、SPM、BOE等进行实时监控。
实现ppt级别准确定量分析。
• 实现多管路在线分析。
• 在线测试系统定期自动进行QC质控， 保证设备数据的稳定性和准确性。
可自行设置测试方案， 如检测间隔周期， 根据客户洗净机药液周期变化进行调整。
应用领域
半导体FAB产线中洗净机清洗系统金属杂质含量的实时监控
• 厂务化学品金属杂质含量定期监测
电子级化学品加工使用过程中在不同节点时金属含量的实时监控
系统特点
• 监测效率商
支持32个点位的样品采集， 每天可完成28点位阴离子、阳离子的在线监测。
• 自动化程度高
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流
程自动化。
系统本底低
系统管路及阀均采用超洁净的聚四氯乙烯材料设计， 满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要
求。
监测范围广
系统通过真空泵远距离采样， 可覆盖300m范围
内样品的在线监测。
SA280在线加标仪
SA280 在线加标仪是一款应用千实验室分析的仪器， 系统实现全自动加标的功
能， 解决了电子级化学品分析过程容易产生污染的问题。
仪器包含在线内标加入与标准加入法两种运行模式， 支持与ICP-MS等分析仪器联
用分析。
SUPEC 5500在线滴定分析系统
针对半导体客户在实际仪器应用中面临精度要求高、在线分析、庞大的数据管
理、安全要求高等需求， 谱育科技推出了SUPEC 5500 在线滴定分析系统， 包括单因
子光度滴定、单因子电位滴定、双因子滴定三种规格， 具备自动取样、自动过滤、自
动稀释、自动滴定分析、自动清洗排废等功能， 能够进行pH 、ORP、颜色、络合滴
定。可7*24小时连续获取各工业制造过程中关键参数信息。可用于湿电子化学品的含
量分析、刻蚀液的分析以及显影液成分分析等。
洁净室AMC微污染气体监测系统
半导体制程技术的全面发展，芯片线宽全面进入到纳米级别，洁净室分子级污染物或气载分子污染物( AMC)控制要求越来越
严格。综合利用自主研发的光谱、色谱、质谱和电化学技术， 为洁净室AMC微污染气体检测提供完整技术手段，实时检测洁净室
微污染气体浓度变化，对AMC中的酸性、碱性、可凝性和掺杂性物质进行及时的检测，全面掌控洁净室AMC的实际情况。
• 监测设备：NH,、TS/SO/H2S、HCI/Cl2、HF、Total Acids 、o,、voes……
• 监测方式：多点式切换采样系统，单点式或移动式
物种：MA (酸） MB (碱） MC (可凝性） ME
MA (酸）
仪表： 检测因子
A735(紫外荧光法) H2S SO2
A745 (化学发光法）N02, NO
IMS 200S (离子迁移谱） HCI, Cl2
L TGA-200S (ICOS激光光谱） HF
MB (碱）
A745 (化学发光法） NH3
715S (有机胺分析仪）:
胺类
NMP (N-甲基咄咯院酮，C,比NO)
TMAH (四甲基氢氧化按，C4H,,NO)
HMDS (六甲基二硅胺，(CH3)3SiNHSi(CH3)3）
MC (可凝性）
EXPEC 2000-MS-S ( 质谱仪）100种voes, 芳炟类、院炟、烯炟、卤代泾、醒、酮、脂、酚、硫化物
EXPEC 2000-21 OF (色谱仪） 芳泾、酵、酮、脂类
GMS-1000 (FTIR气体分析仪） PFC, HFC, CFC, 院经类等100多种
SPM (化学纸带法） 多种有机和无机气体
EXPEC 2800 (传感器法） 多种有机和无机气体
ME
A760(臭氧分析仪） 03
710(硫化物分析仪）有机硫
MA检测
·H2S/SO2气体分析仪
A735型比S/SO2气体分析仪使用经过验证的紫外荧光法原理，测量通常洁净室中的硫化氢和二氧化硫气体的浓度。
产品特点
·量程： (0-50) ppb至(0-10)ppm H2S、(0-20) ppm SO2 用户自选
·监测灵敏度：可达0.4 ppb
·大屏幕触控操作的彩色图像显示屏，操作方便，显示形象
·可应用于多点采样系统或移动式装置
HCI/Cl2气体分析仪
IMS-200S 氯化氢／氯气分析仪是基于离子迁移谱原理( IMS)技术测呈大气中
ppb级别痕量气体氯化氢／氯气分析仪（氯化氢与氯气总浓度，不能分开测量），可应用
千适合应用千半导体洁净室AMC或连续排放检测等在线实时连续气体检测用途。
产品特点
·检测因子： NH,, Amines, TA, Chlorides (HCl+CI,)
·单点式量测（适用机台内部或需求较高之区域）
·搭配多点式采样系统（适用洁净室内环境）
·最低侦测极限可达100 ppt或更低
• 昌测准确，反应速度快，不受其它物种干扰
• 外型轻盈，便于安装
• 快速晌应，晌应时间可达秒级
． 日常维护保养要求极低
HF气体分析仪
-------------------
联系我们 ：021-37824198*8006 17740803693（微信同号）19916766593（微信同号）
三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪
EXPEC 7350 三重四极杆ICP-MS颠覆传统， 采用创新性的垂直炬管设
计， 真正的国产三重四极和CP-MS, 将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。
EXPEC 7350 拥有垂直炬管带来的基体承载优势， 三重四极杆赋予的强
大干扰消除能力及灵活分析能力， 即使面对极为棘手的复杂样品， 均可获得
超乎想象的稳定测量结果。
系统特点
• 颠覆性的垂直炬管设计
降低氮气消耗， 提升炬管、离子接口使用寿命。
• 90°离轴的离子传输系统
彻底消除中性粒子干扰， 提升信噪比。
• 真正的三重四极杆设计
Q1、Q2均实现单位质量分辨。
• 五路碰撞反应气
分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换。
应用领域
• 半导体硅片表面、体内的金属超痕量、痕量分析
• 电子级特气中金属杂质超痕量、痕量分析
• 电子级化学品金属杂质的超痕量、痕量分析
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统是谱育科技针对无尘室
气体中阴阳离子含量在线检测研发的一款全自动采集、检测空气中
酸碱性物质的在线系统， 该产品基于在线离子色谱法， 可以实现对
无尘室内环境颗粒物和气体中多种水溶性离子的自动准确测量， 为
制程颗粒物分析提供技术手段， 提高产品良率。
系统组成
• 系统配置模块
系统标配两个点位配置模块， 可完成32个点位的交替吸收富集， 实现高效检测。
• 气体吸收模块
吸收装置包含一级吸收瓶、二级吸收瓶以及缓冲瓶， 吸收速度OL/min-4L/min可调。
• 离子质控模块
该模块实现标准溶液梯度的自动配制、质控样品的引入及在线稀释功能。
分析检测模块
在线离子色谱实现阴阳离子的定性、定量分析。
FAAS 8000MS电子级湿化学品杂质含量在线监测系统
系统特点
• 对厂务化学品， 洗净机药液槽内的SC1, SC2、SPM、BOE等进行实时监控。
实现ppt级别准确定量分析。
• 实现多管路在线分析。
• 在线测试系统定期自动进行QC质控， 保证设备数据的稳定性和准确性。
可自行设置测试方案， 如检测间隔周期， 根据客户洗净机药液周期变化进行调整。
应用领域
半导体FAB产线中洗净机清洗系统金属杂质含量的实时监控
• 厂务化学品金属杂质含量定期监测
电子级化学品加工使用过程中在不同节点时金属含量的实时监控
系统特点
• 监测效率商
支持32个点位的样品采集， 每天可完成28点位阴离子、阳离子的在线监测。
• 自动化程度高
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流
程自动化。
系统本底低
系统管路及阀均采用超洁净的聚四氯乙烯材料设计， 满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要
求。
监测范围广
系统通过真空泵远距离采样， 可覆盖300m范围
内样品的在线监测。
SA280在线加标仪
SA280 在线加标仪是一款应用千实验室分析的仪器， 系统实现全自动加标的功
能， 解决了电子级化学品分析过程容易产生污染的问题。
仪器包含在线内标加入与标准加入法两种运行模式， 支持与ICP-MS等分析仪器联
用分析。
SUPEC 5500在线滴定分析系统
针对半导体客户在实际仪器应用中面临精度要求高、在线分析、庞大的数据管
理、安全要求高等需求， 谱育科技推出了SUPEC 5500 在线滴定分析系统， 包括单因
子光度滴定、单因子电位滴定、双因子滴定三种规格， 具备自动取样、自动过滤、自
动稀释、自动滴定分析、自动清洗排废等功能， 能够进行pH 、ORP、颜色、络合滴
定。可7*24小时连续获取各工业制造过程中关键参数信息。可用于湿电子化学品的含
量分析、刻蚀液的分析以及显影液成分分析等。
洁净室AMC微污染气体监测系统
半导体制程技术的全面发展，芯片线宽全面进入到纳米级别，洁净室分子级污染物或气载分子污染物( AMC)控制要求越来越
严格。综合利用自主研发的光谱、色谱、质谱和电化学技术， 为洁净室AMC微污染气体检测提供完整技术手段，实时检测洁净室
微污染气体浓度变化，对AMC中的酸性、碱性、可凝性和掺杂性物质进行及时的检测，全面掌控洁净室AMC的实际情况。
• 监测设备：NH,、TS/SO/H2S、HCI/Cl2、HF、Total Acids 、o,、voes……
• 监测方式：多点式切换采样系统，单点式或移动式
物种：MA (酸） MB (碱） MC (可凝性） ME
MA (酸）
仪表： 检测因子
A735(紫外荧光法) H2S SO2
A745 (化学发光法）N02, NO
IMS 200S (离子迁移谱） HCI, Cl2
L TGA-200S (ICOS激光光谱） HF
MB (碱）
A745 (化学发光法） NH3
715S (有机胺分析仪）:
胺类
NMP (N-甲基咄咯院酮，C,比NO)
TMAH (四甲基氢氧化按，C4H,,NO)
HMDS (六甲基二硅胺，(CH3)3SiNHSi(CH3)3）
MC (可凝性）
EXPEC 2000-MS-S ( 质谱仪）100种voes, 芳炟类、院炟、烯炟、卤代泾、醒、酮、脂、酚、硫化物
EXPEC 2000-21 OF (色谱仪） 芳泾、酵、酮、脂类
GMS-1000 (FTIR气体分析仪） PFC, HFC, CFC, 院经类等100多种
SPM (化学纸带法） 多种有机和无机气体
EXPEC 2800 (传感器法） 多种有机和无机气体
ME
A760(臭氧分析仪） 03
710(硫化物分析仪）有机硫
MA检测
·H2S/SO2气体分析仪
A735型比S/SO2气体分析仪使用经过验证的紫外荧光法原理，测量通常洁净室中的硫化氢和二氧化硫气体的浓度。
产品特点
·量程： (0-50) ppb至(0-10)ppm H2S、(0-20) ppm SO2 用户自选
·监测灵敏度：可达0.4 ppb
·大屏幕触控操作的彩色图像显示屏，操作方便，显示形象
·可应用于多点采样系统或移动式装置
HCI/Cl2气体分析仪
IMS-200S 氯化氢／氯气分析仪是基于离子迁移谱原理( IMS)技术测呈大气中
ppb级别痕量气体氯化氢／氯气分析仪（氯化氢与氯气总浓度，不能分开测量），可应用
千适合应用千半导体洁净室AMC或连续排放检测等在线实时连续气体检测用途。
产品特点
·检测因子： NH,, Amines, TA, Chlorides (HCl+CI,)
·单点式量测（适用机台内部或需求较高之区域）
·搭配多点式采样系统（适用洁净室内环境）
·最低侦测极限可达100 ppt或更低
• 昌测准确，反应速度快，不受其它物种干扰
• 外型轻盈，便于安装
• 快速晌应，晌应时间可达秒级
． 日常维护保养要求极低
HF气体分析仪
-------------------
联系我们 ：021-37824198*8006 17740803693（微信同号）19916766593（微信同号）
高精密检测仪器和自动化系统
三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪
EXPEC 7350 三重四极杆ICP-MS颠覆传统， 采用创新性的垂直炬管设
计， 真正的国产三重四极和CP-MS, 将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。
EXPEC 7350 拥有垂直炬管带来的基体承载优势， 三重四极杆赋予的强
大干扰消除能力及灵活分析能力， 即使面对极为棘手的复杂样品， 均可获得
超乎想象的稳定测量结果。
系统特点
• 颠覆性的垂直炬管设计
降低氮气消耗， 提升炬管、离子接口使用寿命。
• 90°离轴的离子传输系统
彻底消除中性粒子干扰， 提升信噪比。
• 真正的三重四极杆设计
Q1、Q2均实现单位质量分辨。
• 五路碰撞反应气
分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换。
应用领域
• 半导体硅片表面、体内的金属超痕量、痕量分析
• 电子级特气中金属杂质超痕量、痕量分析
• 电子级化学品金属杂质的超痕量、痕量分析
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统是谱育科技针对无尘室
气体中阴阳离子含量在线检测研发的一款全自动采集、检测空气中
酸碱性物质的在线系统， 该产品基于在线离子色谱法， 可以实现对
无尘室内环境颗粒物和气体中多种水溶性离子的自动准确测量， 为
制程颗粒物分析提供技术手段， 提高产品良率。
系统组成
• 系统配置模块
系统标配两个点位配置模块， 可完成32个点位的交替吸收富集， 实现高效检测。
• 气体吸收模块
吸收装置包含一级吸收瓶、二级吸收瓶以及缓冲瓶， 吸收速度OL/min-4L/min可调。
• 离子质控模块
该模块实现标准溶液梯度的自动配制、质控样品的引入及在线稀释功能。
分析检测模块
在线离子色谱实现阴阳离子的定性、定量分析。
FAAS 8000MS电子级湿化学品杂质含量在线监测系统
系统特点
• 对厂务化学品， 洗净机药液槽内的SC1, SC2、SPM、BOE等进行实时监控。
实现ppt级别准确定量分析。
• 实现多管路在线分析。
• 在线测试系统定期自动进行QC质控， 保证设备数据的稳定性和准确性。
可自行设置测试方案， 如检测间隔周期， 根据客户洗净机药液周期变化进行调整。
应用领域
半导体FAB产线中洗净机清洗系统金属杂质含量的实时监控
• 厂务化学品金属杂质含量定期监测
电子级化学品加工使用过程中在不同节点时金属含量的实时监控
系统特点
• 监测效率商
支持32个点位的样品采集， 每天可完成28点位阴离子、阳离子的在线监测。
• 自动化程度高
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流
程自动化。
系统本底低
系统管路及阀均采用超洁净的聚四氯乙烯材料设计， 满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要
求。
监测范围广
系统通过真空泵远距离采样， 可覆盖300m范围
内样品的在线监测。
SA280在线加标仪
SA280 在线加标仪是一款应用千实验室分析的仪器， 系统实现全自动加标的功
能， 解决了电子级化学品分析过程容易产生污染的问题。
仪器包含在线内标加入与标准加入法两种运行模式， 支持与ICP-MS等分析仪器联
用分析。
SUPEC 5500在线滴定分析系统
针对半导体客户在实际仪器应用中面临精度要求高、在线分析、庞大的数据管
理、安全要求高等需求， 谱育科技推出了SUPEC 5500 在线滴定分析系统， 包括单因
子光度滴定、单因子电位滴定、双因子滴定三种规格， 具备自动取样、自动过滤、自
动稀释、自动滴定分析、自动清洗排废等功能， 能够进行pH 、ORP、颜色、络合滴
定。可7*24小时连续获取各工业制造过程中关键参数信息。可用于湿电子化学品的含
量分析、刻蚀液的分析以及显影液成分分析等。
洁净室AMC微污染气体监测系统
半导体制程技术的全面发展，芯片线宽全面进入到纳米级别，洁净室分子级污染物或气载分子污染物( AMC)控制要求越来越
严格。综合利用自主研发的光谱、色谱、质谱和电化学技术， 为洁净室AMC微污染气体检测提供完整技术手段，实时检测洁净室
微污染气体浓度变化，对AMC中的酸性、碱性、可凝性和掺杂性物质进行及时的检测，全面掌控洁净室AMC的实际情况。
• 监测设备：NH,、TS/SO/H2S、HCI/Cl2、HF、Total Acids 、o,、voes……
• 监测方式：多点式切换采样系统，单点式或移动式
物种：MA (酸） MB (碱） MC (可凝性） ME
MA (酸）
仪表： 检测因子
A735(紫外荧光法) H2S SO2
A745 (化学发光法）N02, NO
IMS 200S (离子迁移谱） HCI, Cl2
L TGA-200S (ICOS激光光谱） HF
MB (碱）
A745 (化学发光法） NH3
715S (有机胺分析仪）:
胺类
NMP (N-甲基咄咯院酮，C,比NO)
TMAH (四甲基氢氧化按，C4H,,NO)
HMDS (六甲基二硅胺，(CH3)3SiNHSi(CH3)3）
MC (可凝性）
EXPEC 2000-MS-S ( 质谱仪）100种voes, 芳炟类、院炟、烯炟、卤代泾、醒、酮、脂、酚、硫化物
EXPEC 2000-21 OF (色谱仪） 芳泾、酵、酮、脂类
GMS-1000 (FTIR气体分析仪） PFC, HFC, CFC, 院经类等100多种
SPM (化学纸带法） 多种有机和无机气体
EXPEC 2800 (传感器法） 多种有机和无机气体
ME
A760(臭氧分析仪） 03
710(硫化物分析仪）有机硫
MA检测
·H2S/SO2气体分析仪
A735型比S/SO2气体分析仪使用经过验证的紫外荧光法原理，测量通常洁净室中的硫化氢和二氧化硫气体的浓度。
产品特点
·量程： (0-50) ppb至(0-10)ppm H2S、(0-20) ppm SO2 用户自选
·监测灵敏度：可达0.4 ppb
·大屏幕触控操作的彩色图像显示屏，操作方便，显示形象
·可应用于多点采样系统或移动式装置
HCI/Cl2气体分析仪
IMS-200S 氯化氢／氯气分析仪是基于离子迁移谱原理( IMS)技术测呈大气中
ppb级别痕量气体氯化氢／氯气分析仪（氯化氢与氯气总浓度，不能分开测量），可应用
千适合应用千半导体洁净室AMC或连续排放检测等在线实时连续气体检测用途。
产品特点
·检测因子： NH,, Amines, TA, Chlorides (HCl+CI,)
·单点式量测（适用机台内部或需求较高之区域）
·搭配多点式采样系统（适用洁净室内环境）
·最低侦测极限可达100 ppt或更低
• 昌测准确，反应速度快，不受其它物种干扰
• 外型轻盈，便于安装
• 快速晌应，晌应时间可达秒级
． 日常维护保养要求极低
HF气体分析仪
-------------------
联系我们 ：021-37824198*8006 17740803693（微信同号）19916766593（微信同号）
三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪
EXPEC 7350 三重四极杆ICP-MS颠覆传统， 采用创新性的垂直炬管设
计， 真正的国产三重四极和CP-MS, 将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。
EXPEC 7350 拥有垂直炬管带来的基体承载优势， 三重四极杆赋予的强
大干扰消除能力及灵活分析能力， 即使面对极为棘手的复杂样品， 均可获得
超乎想象的稳定测量结果。
系统特点
• 颠覆性的垂直炬管设计
降低氮气消耗， 提升炬管、离子接口使用寿命。
• 90°离轴的离子传输系统
彻底消除中性粒子干扰， 提升信噪比。
• 真正的三重四极杆设计
Q1、Q2均实现单位质量分辨。
• 五路碰撞反应气
分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换。
应用领域
• 半导体硅片表面、体内的金属超痕量、痕量分析
• 电子级特气中金属杂质超痕量、痕量分析
• 电子级化学品金属杂质的超痕量、痕量分析
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统
FAAS 8000 ICS在线离子色谱分析系统是谱育科技针对无尘室
气体中阴阳离子含量在线检测研发的一款全自动采集、检测空气中
酸碱性物质的在线系统， 该产品基于在线离子色谱法， 可以实现对
无尘室内环境颗粒物和气体中多种水溶性离子的自动准确测量， 为
制程颗粒物分析提供技术手段， 提高产品良率。
系统组成
• 系统配置模块
系统标配两个点位配置模块， 可完成32个点位的交替吸收富集， 实现高效检测。
• 气体吸收模块
吸收装置包含一级吸收瓶、二级吸收瓶以及缓冲瓶， 吸收速度OL/min-4L/min可调。
• 离子质控模块
该模块实现标准溶液梯度的自动配制、质控样品的引入及在线稀释功能。
分析检测模块
在线离子色谱实现阴阳离子的定性、定量分析。
FAAS 8000MS电子级湿化学品杂质含量在线监测系统
系统特点
• 对厂务化学品， 洗净机药液槽内的SC1, SC2、SPM、BOE等进行实时监控。
实现ppt级别准确定量分析。
• 实现多管路在线分析。
• 在线测试系统定期自动进行QC质控， 保证设备数据的稳定性和准确性。
可自行设置测试方案， 如检测间隔周期， 根据客户洗净机药液周期变化进行调整。
应用领域
半导体FAB产线中洗净机清洗系统金属杂质含量的实时监控
• 厂务化学品金属杂质含量定期监测
电子级化学品加工使用过程中在不同节点时金属含量的实时监控
系统特点
• 监测效率商
支持32个点位的样品采集， 每天可完成28点位阴离子、阳离子的在线监测。
• 自动化程度高
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流
程自动化。
系统本底低
系统管路及阀均采用超洁净的聚四氯乙烯材料设计， 满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要
求。
监测范围广
系统通过真空泵远距离采样， 可覆盖300m范围
内样品的在线监测。
SA280在线加标仪
SA280 在线加标仪是一款应用千实验室分析的仪器， 系统实现全自动加标的功
能， 解决了电子级化学品分析过程容易产生污染的问题。
仪器包含在线内标加入与标准加入法两种运行模式， 支持与ICP-MS等分析仪器联
用分析。
SUPEC 5500在线滴定分析系统
针对半导体客户在实际仪器应用中面临精度要求高、在线分析、庞大的数据管
理、安全要求高等需求， 谱育科技推出了SUPEC 5500 在线滴定分析系统， 包括单因
子光度滴定、单因子电位滴定、双因子滴定三种规格， 具备自动取样、自动过滤、自
动稀释、自动滴定分析、自动清洗排废等功能， 能够进行pH 、ORP、颜色、络合滴
定。可7*24小时连续获取各工业制造过程中关键参数信息。可用于湿电子化学品的含
量分析、刻蚀液的分析以及显影液成分分析等。
洁净室AMC微污染气体监测系统
半导体制程技术的全面发展，芯片线宽全面进入到纳米级别，洁净室分子级污染物或气载分子污染物( AMC)控制要求越来越
严格。综合利用自主研发的光谱、色谱、质谱和电化学技术， 为洁净室AMC微污染气体检测提供完整技术手段，实时检测洁净室
微污染气体浓度变化，对AMC中的酸性、碱性、可凝性和掺杂性物质进行及时的检测，全面掌控洁净室AMC的实际情况。
• 监测设备：NH,、TS/SO/H2S、HCI/Cl2、HF、Total Acids 、o,、voes……
• 监测方式：多点式切换采样系统，单点式或移动式
物种：MA (酸） MB (碱） MC (可凝性） ME
MA (酸）
仪表： 检测因子
A735(紫外荧光法) H2S SO2
A745 (化学发光法）N02, NO
IMS 200S (离子迁移谱） HCI, Cl2
L TGA-200S (ICOS激光光谱） HF
MB (碱）
A745 (化学发光法） NH3
715S (有机胺分析仪）:
胺类
NMP (N-甲基咄咯院酮，C,比NO)
TMAH (四甲基氢氧化按，C4H,,NO)
HMDS (六甲基二硅胺，(CH3)3SiNHSi(CH3)3）
MC (可凝性）
EXPEC 2000-MS-S ( 质谱仪）100种voes, 芳炟类、院炟、烯炟、卤代泾、醒、酮、脂、酚、硫化物
EXPEC 2000-21 OF (色谱仪） 芳泾、酵、酮、脂类
GMS-1000 (FTIR气体分析仪） PFC, HFC, CFC, 院经类等100多种
SPM (化学纸带法） 多种有机和无机气体
EXPEC 2800 (传感器法） 多种有机和无机气体
ME
A760(臭氧分析仪） 03
710(硫化物分析仪）有机硫
MA检测
·H2S/SO2气体分析仪
A735型比S/SO2气体分析仪使用经过验证的紫外荧光法原理，测量通常洁净室中的硫化氢和二氧化硫气体的浓度。
产品特点
·量程： (0-50) ppb至(0-10)ppm H2S、(0-20) ppm SO2 用户自选
·监测灵敏度：可达0.4 ppb
·大屏幕触控操作的彩色图像显示屏，操作方便，显示形象
·可应用于多点采样系统或移动式装置
HCI/Cl2气体分析仪
IMS-200S 氯化氢／氯气分析仪是基于离子迁移谱原理( IMS)技术测呈大气中
ppb级别痕量气体氯化氢／氯气分析仪（氯化氢与氯气总浓度，不能分开测量），可应用
千适合应用千半导体洁净室AMC或连续排放检测等在线实时连续气体检测用途。
产品特点
·检测因子： NH,, Amines, TA, Chlorides (HCl+CI,)
·单点式量测（适用机台内部或需求较高之区域）
·搭配多点式采样系统（适用洁净室内环境）
·最低侦测极限可达100 ppt或更低
• 昌测准确，反应速度快，不受其它物种干扰
• 外型轻盈，便于安装
• 快速晌应，晌应时间可达秒级
． 日常维护保养要求极低
HF气体分析仪
-------------------
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