【又一国产芯逆袭之门!特斯拉带飞,国内多位大佬谈碳化硅 如何跑得更快更远 - 原创 ZeR0 芯东西 2022-7-04 发表于北京】

碳化硅SiC的春天,终于来了!
“双碳”战略开启了新能源转换黄金时代,也开启了功率半导体发展的黄金时代。这一趋势下,拥有优越性能的碳化硅,正成为功率器件的宠儿。用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,能极大提高能量转化效率,大概会降低75%以上的能量损耗。其经济效益毋庸置疑是巨大的。
这个被特斯拉带飞的第三代半导体材料,正迎来爆发式增长。国家政策也在大力扶持:“十四五”规划和二〇三五远景目标纲要,明确指出“支持碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展”。
随着新能源汽车、人工智能、光伏风能发电、大数据、5G通信等一系列新应用领域的出现,以碳化硅为代表的第三代半导体正呈现蓬勃之势。
相比硅和砷化镓等半导体材料,在碳化硅等第三代半导体领域,我国与国际巨头之间的整体技术差距相对更小,更有希望实现换道超车,降低国际供应链的风险。
但与此同时,国内碳化硅产业链发展仍面临重重挑战,任重道远。当下国内碳化硅半导体的单晶材料、衬底、器件研发面临哪些核心痛点?接下来产业链发展还需怎样的助力?
在6月26日举行的“2022中国·南沙国际集成电路产业论坛”宽禁带半导体论坛上,山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授,广东芯粤能CTO相奇,中电化合物董事潘尧波,上海瞻芯电子CTO陈俭等专家发表主题演讲,分享了来自产业一线的观察和思考。

1. 碳化硅爆发式增长新能源汽车成主战场

碳化硅材料有半绝缘型和导电型两种衬底。半绝缘型主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域;导电型主要用于制造功率器件,用在以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域,这也是当前碳化硅的主赛道。
第一个吃螃蟹的是马斯克的特斯拉。特斯拉Model 3率先将意法(ST)的碳化硅MOSFET功率模块应用到负责控制电动机的主逆变器中,证明了碳化硅技术足够成熟,并具有显著优势。
上海瞻芯电子CTO陈俭将“特斯拉的Model 3”类比“2007年的iPhone 4”,这是他决心离开做了21年的硅、转向碳化硅行业的原因。他回忆道,2014~2015年的碳化硅模块,据称已经将功率提高10%、体积缩小57%、重量降低40%,而现在比当时做得还要好。

新能源汽车的爆发,引发了一波碳化硅的“上车潮”。
特斯拉、保时捷、比亚迪汉、现代等纷纷在上碳化硅,碳化硅逐渐成为了高端汽车的标配;国内小鹏、蔚来、理想等造车新势力,都已推出或宣布推出碳化硅模块;宇通客车、上汽、北汽也在做这方面的筹备工作,而且商用车领域更容易导入一些新技术。
据法国知名行业咨询机构Yole预测,2022年车用碳化硅器件占比达68.8%,到2025年碳化硅功率器件的市场规模有望增至25.62亿美元,复合年增长率约30%。碳化硅之所以适合做功率器件,根由在于其材料性能。
碳化硅的禁带宽度是硅的3倍,热导率是硅的3倍,电子饱和速率是硅的2倍,最重要的是临界击穿电场是硅的8-10倍。因此,碳化硅器件有耐高温、低导通电阻、开关速度快、耐高压等特点,使得碳化硅系统更小、更轻、能效更高、驱动力更强。
广东芯粤能CTO相奇分享了一组预测数据,到2030年,中国大陆年度用电总量将超过10.5万亿度,如果用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,那么每年可以节约上万亿度的电,这一数目,相当于10个三峡大坝的年发电总量。
到2030年,新能源车的销售量将增长9倍,光伏的装机量将增长5倍,碳化硅将大有用武之地。再加上缺货浪潮的助推,如今进口材料供货紧俏、一再延期,倘若国内碳化硅材料供应商发力赶上,这将为国产材料的导入打开一个突破口。

2. 8英寸时代到来但量产还要等三四年

碳化硅产业链覆盖从最上游的碳化硅粉,到晶锭、衬底、外延,再到晶圆,以及封装后的单管和模块,最后到交付应用。这种半导体材料的历史,最早可追溯至1885年,瑞典科学家发明了碳化硅生长装置,将核心原材料沙子和木炭加热到1500℃左右,通过导电,引发自蔓延反应,得到碳化硅单晶。但此前因材料技术和设备的限制,碳化硅长期没有发展起来。山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授介绍说,碳化硅单晶的研究可以分为三个阶段:第一阶段是90年代光电应用,碳化硅作为衬底,成功应用在光电领域;第二阶段是微波电子,我国做的已经不比国外差;第三阶段是功率电子应用,希望上下游通力合作,在这方面赶超国外。经过30多年的研发,国内碳化硅研究已具备一定条件,可以为器件研发提供衬底材料。
碳化硅衬底正不断向大尺寸方向发展,衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本越低。目前业内主要量产产品集中在4英寸及6英寸,并演化向8英寸。国外在十年前突破了6英寸衬底技术,在“十三五”期间攻克了8英寸衬底技术。国际行业龙头科锐今年成功将8英寸衬底导入量产,全球首条8英寸晶圆工厂已经通线,很快就要建第二个8英寸碳化硅器件生产厂。在产业化方面,国内碳化硅企业已完成4-6英寸的升级。徐现刚教授谈道,目前国内已有8英寸碳化硅,与国际差距在2~3年之内,这个差距会越来越小。国内4英寸碳化硅晶体在2010年出现,从2017年4英寸导电衬底开始批量销售,中间间隔7年时间;国内6英寸批量销售是2019年,从研发开始也用了三四年。
中电化合物董事潘尧波判断,4寸的量会越来越少,6寸是当前主流,8寸是发展趋势,8英寸如果今年出来,按以往时间周期推演,需要等到2025年、2026年才能导入量产。
在他看来,“8英寸时代到来”还面临一些挑战,包括籽晶依赖于扩径、晶体良率、晶体质量、8英寸衬底加工、成本、生态等方面的问题,希望产业上下游紧密协同来解决问题。据他分析,根据中国电子材料协会统计数据,目前国内碳化硅规划投资300亿元,规划年产能200万片。2020年全国碳化硅产量约11万片,其中还包括很大一部分4英寸产量。规划的产能存在一定水分,规划的投资量偏大,实际落地的投资量有衰减,所以规划产能大于落地产能。从产能到产量,涉及到良率、成本、设备问题,据其统计,目前国内的长晶炉超过3000台,但实际供货量很少,今年6英寸的量大概率能超10万片,不过离需求情况还有很大的差距。汽车对材料有非常高的可靠性要求,这就引申到材料质量需要更高的要求,国内很多材料还在验证中,能满足车规级要求的占比不高。因此潘尧波判断,碳化硅材料,特别是车规级材料,会长期偏紧。他建议8英寸的扩展可以适当慢一点,如果材料供应不及却投了大量设备,这些产能则会空置,将导致产生很多投资的成本。

3.国内产业链面临的外忧与内患

目前碳化硅材料和功率器件都主要由海外企业垄断。器件方面,五家头部企业来自欧洲、日本、美国,合计市占率约90%;材料方面的垄断更加集中,Wolfspeed、Ⅱ-Ⅵ全面领先衬底市场,Wolfspeed和昭和电工两巨头几乎垄断外延片市场。国内碳化硅产业链则相对集中在长三角、京津冀和粤港澳大湾区。
相奇认为,国内碳化硅产业链面临着全面挑战:
1、碳化硅材料。
国内长晶技术和国际先进水平仍有距离,8英寸至少还需要2~3年才能追赶并突破,带动外延的发展。目前技术相对成熟,但设备还需要依赖于进口。
2、器件设计。
受限于制造工艺水平,材料优势没有被充分发挥,包括器件结构的优化创新,因为工艺能力的限制比较欠缺,生态也有待完善。
3、器件制造。
首先,衬底外延成本占比高,合资占比大概超过了50%;其次,器件良率受限于材料的缺陷及质量;其三,缺乏大规模的生产平台,过去碳化硅的规模相对较小,生产模式基本是实验室和小规模的小作坊模式;其四,专业设备还需要依赖于进口。
4、模组封装。
需找到更耐高温的封装材料,因为封装尺寸更小,散热及可靠性的要求更高。
5、汽车厂商。
问题是“缺芯”,尤其是“缺中国芯”。他总结道,国内碳化硅产业的强项是产业链较完整,弱项是现在成本还很高,尤其是在材料方面需要一些突破,其次是国产设备很少,专业设备还需依赖进口。我国的碳化硅产业链发展还需要平衡,才能与国外巨头进行竞争。

为什么碳化硅这么贵?
潘尧波解释说,碳化硅的成本很高,晶体存在质量、尺寸、厚度、良率、成本等痛点,且部分石墨依赖进口,供应紧张。碳化硅是硬脆材料,硬度仅次于金刚石,加工难度较大。
简单的衬底加工工序是从晶锭出来,做多线切割,做倒角,然后做研磨、CMP、清洗、检验,最后出货。其中切碳化硅,6英寸切一刀需要120小时左右,8英寸切一刀需要200小时左右,中间不能出任何差错,否则对切的质量会造成很大的影响。
相对于衬底,碳化硅外延技术门槛低一点,但也存在4个主要痛点:
1、进口外延设备交期长。
全球有4家进口主流供应商,国内主要采用的是3家,目前交期很长,有的甚至要60个月,即需五年时间。现在做碳化硅外延设备的有六七家,有的设备经过了批量销售,接下来国产化外延设备会进入产业主流。
2、外延的三个核心参数(缺陷、浓度、厚度)等检测设备依赖进口,交期长。目前国内缺陷领域有一家在demo过程中。
3、外延设备的单台产能低,每月仅300片左右,这个数量很低,可能会有新的设备和路线出来。
4、备件耗材寿命短,成本高。
外延过程经常要做保养,备件过程中会沉淀一些碳化硅颗粒,对碳化硅外延缺陷造成很大影响,所以备件耗材的生命比较短,一定程度上影响了碳化硅的产量。

在碳化硅器件方面,相奇分享了他观察到的一些趋势:
首先,沟槽MOSFET结构创新备受关注,已有多款沟槽器件产业化、商品化,且沟槽器件结构变化多端,创新空间变化也很大;
再者界面质量导致迁移率低,亟待技术突破,碳化硅器件的优势还没完全发挥出来,需利用新技术、新材料,提高界面质量和迁移率,提高可靠性。
除此之外,万伏千安智能电网需要超高压器件,所以超高压的MOSFET和超高压的IGBT也是器件研发的另一个方向。
有了大规模量产的平台、众多设计公司后,器件设计和制造生态系统则呼之欲出,从而提供一个桥梁,使得设计公司和量产平台能更好、更有效地合作。

4. “最根本的,是要做产业链的创新”

最后,陈俭分享了他看到的碳化硅产业潜力。
首先看定位。Yole数据显示,碳化硅从“三高”(高端、高频、高压)打入,慢慢蚕食硅IGBT市场。“我觉得这是「城市进入农村」的方式,做降维打击,成本做好,它是具有品牌效应的,这是势无可挡的应用。”陈俭说。
其次,上下游要协调好关系。下游车厂希望客户交货更快,现在有的周期要一年的时间,快则要6-7个月,太长了。
其三,价格要低,质量好,配合好。随叫随到是本土化优势,但质量还有待提高。上游会担心投资有没有希望、定价是否合理、付款方式好不好等问题。
至于上下游怎么协调?
陈俭认为,首先,下游需要明确的态度,要拓展应用,把市场做大,这是共赢之选;第二,上游要加大投资,给下游确保能供货且价格合理的信心;第三,有了技术,资金和人才才会加入。
在上游,现在SBD在充电桩领域的应用,市场不是红海了,是血海,卖的成本非常低,所以自己做器件、材料的厂商,要把碳化硅MOSFET的应用拓展起来。
只要有技术,碳化硅MOSFET做得好,市场还是很大的,SDB要区分于市场来做,价格要慢慢回归市场。技术进步需要时间,两三年之内很难做出很大的改善。
因此他们初步判断,大概在2024年前,衬底都是比较紧张的,外延则可能好一点,到2025年可能会缓解,但真正落实要到2026年,市场也可能会比预想得快,到时候又有一轮紧张。
在陈俭看来,最根本的,是要做产业链的创新,包括衬底技术、外延技术、Fab工艺、封装、碳化硅专用设备以及应用端的创新。
此外,他认为还需对创新者予以保护。首先做好专利布局;其次实现利益共享,定价机制要合理;第三,创新方要换位思考,要引入资金和推动标准建立;第四,尊重知识产权,抵制反授权,从法律层面保护创新者;第五,建立像IMEC一样的第三方合作开发平台。

5. 结语:碳化硅春天已至国产供应链迎新机遇

陈俭认为:碳化硅的春天来了,当前第三代半导体的碳化硅和氮化镓则比较火热,成长速度远超硅基功率器件。但还有很多挑战,要上下游共同共勉,以创新制胜,知识产权也要保驾护航。
徐现刚教授看来,碳化硅取得了新机遇,这么重要的材料,要降低国际供应链的风险性,对于进入国产和试用是非常好的机遇。
潘尧波亦判断:碳化硅产业处于成长期,在光伏、LED、硅产业等产业,新玩家会不断涌入,新技术会不断出现,这将给后来企业很多新机会。

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成都刑事律师:不起诉和免于刑事处罚有什么不同?#法律咨询# #成都精英律师# #成都刑事律师# #成都律师# #成都律师怎么选#
本文由胡云律师团队编辑、整理、转载(胡云:四川胡云律师事务所创始人、管理委员会主任、刑事法律专业委员会主任、执业二十年,长期专注于重特大刑事案件的辩护及大型民商事代理及非诉策划。)

人民检察院的不起诉和免于刑事处罚是不一样的。人民检察院作出不起诉决定的,刑事案件就不会到人民法院,而免予刑事处罚是由人民法院作出的,两者位于不同的刑事阶段,并且人民检察院的不起诉和免予刑事处罚的适用条件也是不一样的,人民检察院作出不起诉决定时,应当根据《中华人民共和国刑事诉讼法》规定的条件作出决定,人民法院应当根据《中华人民共和国刑法》的规定作出免予刑事处罚。

不起诉和免于刑事处罚有什么不同?

1、性质不同:免予刑事处罚是针对的对象是已经构成犯罪,但犯罪情节轻微不需要判处刑罚的人;不起诉的对象则包括不构成犯罪、指控犯罪证据不足或存疑、犯罪情节轻微,依照刑法规定不需要判处刑罚或者免除刑罚的人。

2、作出机关不同:免予刑事处罚由法院作出,而不起诉决定则由检察院作出。

总结来说不起诉和免予起诉的区别在于:不起诉是在犯罪嫌疑人没有构成犯罪或者虽然构成犯罪,但依照法律规定不应追究刑事责任的情况下,才可以使用;

免予起诉是被告人的行为已经构成犯罪,在应负刑事责任的前提下,只是由于刑法规定不需要判处刑罚或可以免除刑罚的情况下才可以使用等。

不予刑事处罚会留案底。免于刑事处罚也是有罪判决,只是不承担刑事责任,所以会有犯罪记录。

《人民检察院刑事诉讼规则》第三百六十八条,具有下列情形之一,不能确定犯罪嫌疑人构成犯罪和需要追究刑事责任的,属于证据不足,不符合起诉条件:

(一)犯罪构成要件事实缺乏必要的证据予以证明的;

(二)据以定罪的证据存在疑问,无法查证属实的;

(三)据以定罪的证据之间、证据与案件事实之间的矛盾不能合理排除的;

(四)根据证据得出的结论具有其他可能性,不能排除合理怀疑的;

(五)根据证据认定案件事实不符合逻辑和经验法则,得出的结论明显不符合常理的。

《刑法》第三十七条,对于犯罪情节轻微不需要判处刑罚的,可以免予刑事处罚,但是可以根据案件的不同情况,予以训诫或者责令具结悔过、赔礼道歉、赔偿损失,或者由主管部门予以行政处罚或者行政处分。

#青海# #玉树# 【海拔3900米“英雄机场”展新颜!#中国# 最美支线机场”更美丽】2009年8月1日,玉树的宁静被飞机引擎声打破。银鹰降落,玉树人民载歌载舞,用歌声和舞姿庆祝一座机场的诞生、一个飞天梦的实现。就此,海拔3900米的巴塘草原上,玉树机场傲然挺立。

十三年里,玉树机场经历了抗震救灾、灾后重建、抗击雪灾,业务量不断攀升,对地方经济社会发展的贡献不断增强,成为玉树人民心目中的“英雄机场”,成为全国民航支线机场的标杆。

今天,也是8月1日,玉树机场改扩建工程竣工投运,“英雄机场”展新颜,巴塘草原再次沸腾,中国“最美支线机场”迎来又一个新起点。

机场改扩建势在必行

盛夏的玉树巴塘草原最美,天空湛蓝、白云舒卷,远处的山顶上冰雪未融,高山草甸上牛羊时聚时散。玉树机场就建在如梦一般的画卷里,被称为中国“最美支线机场”。

2007年5月16日,玉树机场新建工程开工,经过两年多的艰苦奋斗,于2009年8月1日建成通航。2010年4月14日,玉树突发7.1级地震,在抗震救灾过程中,玉树机场为挽救受灾群众生命财产作出巨大贡献,被党中央、国务院、中央军委授予“全国抗震救灾英雄集体”称号。同年,为提高玉树机场应急救援能力,为灾后重建工作打好交通基础,玉树机场新增助航灯光系统,扩建2个站坪机位及1条垂直联络道,迎来第一次“升级”。

后来,文化旅游、商贸往来的不断发展,越来越多游客、公商务人员走进玉树,2013年玉树机场旅客吞吐量突破10万人次,2020年突破35万人次,通航城市从最初的1个增至5个,航线从1条增至5条,航班由每周1班增至每天5至6班。

随着业务量节节攀升,按照年保障旅客8万人次目标设计的航站楼容量已饱和,已有设施设备难以满足猛增的旅客出行需求和地方经济社会快速发展的需要,玉树机场改扩建势在必行。

2017年,玉树机场改扩建项目前期工作全面启动。2019年6月6日取得可研(代立项)批复,8月14日取得初设批复,10月5日开工建设。工程按满足2030年旅客吞吐量130万人次、货邮吞吐量2600吨的目标设计,主要建设9个C类机位站坪、1条垂直联络道、5770平方米航站楼、6000平方米停车场,配套建设场内道路、供电、供水、消防等相关辅助生产生活设施,总投资4.74亿元。

运土车行驶总里程

相当于绕地球161圈

新修机位站坪、航站楼以及停车场,需用土220万立方米,这么多土从哪来?

玉树大部分地区处于三江源国家级自然保护区内,环保标准极高,取土非常困难,从外地运土成本太高。青海省机场建设指挥部玉树建设分部指挥长唐黎钢盯上了玉树市区各项工程建设的“废土”,只要听说附近市、县哪里有工程动工,他立即联系对方“约土”。

土有了,还需要运至施工现场,将机场基础垫高5米至14米。唐黎钢算了一笔账,从玉树市至机场往返路程为65公里,每辆车平均可运土23立方米,2020年至2021年,全部运土车行驶总里程相当于绕地球161圈。

土的问题解决了,其他问题接踵而至。玉树当地只有一家沙石料场,装修材料和机电设备厂家几乎空白,机场改扩建所需的地材、沙子、碎石等原材料和电子设备均需外采。建设者们不得不前往四川石渠县购买原材料,设施设备从河南、湖北、甘肃配货购买,登机桥只能从广州采购。

2021年5月22日,西宁至玉树必经之路——玛多发生地震,共玉高速个别桥梁因地震受损,高速路封闭开展灾后重建,运送原材料的车辆只能走老国道,老国道受地震损坏路况也变得很差,运输的航站楼玻璃损耗非常严重。再加上多轮疫情发生,原材料和远在2600公里外的登机桥运输变得更加困难。

对此,玉树建设分部提前谋划,密切跟进原材料和设施设备运送及疫情管控情况,动态调整工程进度,在材料到位后第一时间检查损耗情况,与厂家及时沟通补货,确保无误后进入下一阶段施工,尽可能降低运输不便对工程进度的影响。唐黎钢激励建设者们:“在海拔3900米的地方改扩建机场困难重重,越是困难我们越要加快建设。”

精心呵护每一块草皮土

绿水青山就是金山银山。在三江源头改扩建机场,生态保护是重要环节。

根据玉树当地的自然条件、经济条件和社会条件,青海机场公司从“资源节约、环境友好、运行高效、以人为本”的角度提出机场规划建设目标,把新发展理念融入机场建设全过程,初步形成“系统稳固、防御精准”的平安机场、“资源节约、低碳减排”的绿色机场、“融合互联、智能进化”的智慧机场、“山宗水源、人文空港”的人文机场建设理念,力争把玉树机场打造为青海次中心机场、高高原支线机场和最美支线机场,服务三江源地区高原雪域新城和商贸文化旅游中心城市发展。

由于海拔高、植被生长条件差,为保护好机场周围土壤植被,玉树建设分部咨询林业专家,组织施工单位考察当地植被,发现草皮土有四五十厘米厚,这一点点宝贵的土壤是在青藏高原严酷的环境下历经千万年演变而来。为保护好这份宝贵财富,建设者们在土方施工前把腐殖土、草皮土收集起来,完工后二次覆盖种草,直至覆盖后的土壤长出新芽,原土的活性得到保留,大家的心情才轻松下来。

玉树建设分部对于“绿色机场”理念的执著不仅体现在这些环节,还体现在建设全过程,如改造污水处理站、更换燃煤锅炉、恢复取土场原貌。就这样,在建设者们的精心呵护下,中国“最美支线机场”更加绿色、更加环保,也更加美丽。

“最美支线机场”更美丽

中国“最美支线机场”究竟有多美丽?

新建航站楼设计融合玉树山川地貌、地域建筑等多重内涵,屋面采用一条动态而略向上的曲线,造型轻盈而富有动态感。中部突出玻璃幕墙增加斜角分割线,如钻石一般,寓意玉树似青藏高原上的一颗宝石;翘起的屋檐形似一对翅膀,象征玉树如雄鹰展翅高飞;建筑立面采用红色格栅,与现有航站楼风格统一,传统而富有现代感。

航站楼室内天花板上加开金色圆边露空造型天窗,通过不同角度折射光线,营造吉祥如意的美好氛围;近机位等候大厅金色三角形顶部正下方置入黑色造景台,内设玉树代表性动物牦牛模型,增加室内空间的本土韵味;一层远机位候机厅顶部采用蓝天白云软膜天花吊顶,展现玉树蔚蓝的天空,搭配黑色条形设备带,自然气息与现代感相互融合;T1航站楼贵宾大厅入口造型以当地传统藏式建筑为灵感,采用白色墙面搭配红色连贯檐口;到港行李区、贵宾厅、T1航站楼贵宾室等区域均陈列大型藏式壁画,既强调空间整体性,又营造高贵典雅的文化氛围。

“最美支线机场”的美还体现在科技上,机场全区域实现5G网络覆盖,安检通道、登机口应用了人脸识别技术,新增安检分层管理系统使旅客行李运输数据可查询跟踪、集中判读,提升机场对进出港旅客信息的综合分析以及安全态势预测水平。飞行区新建了一条信息传输光缆回路,与原有通信光缆互为备份,安全性大大提升。

“改扩建工程不仅为旅客提供便利,也为我们员工带来很多好处。新建了一座制氧机房,配置专业制氧设备,24小时不间断向航站楼、综合业务楼、宿舍楼供氧,幸福感别提有多强了。”一名机场员工坚信,道路通则百业兴,玉树机场发展的新篇章已经翻开,玉树的高质量发展之路必将越走越宽广。(西海全媒体记者 彭娜)


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